Перейти на главную страницу сайта

 Поставки КИПиА и электротехнического оборудования

 

ФСМ 1201П

 
Сделать заказ >>>
bline.gif (87 bytes)

 Поиск в каталоге:
 
ФСМ 1201П Тестер полупроводниковых пластин / Лабораторное оборудование / Каталог продукции
  • Описание
  • Технические данные
Наименование:
ФСМ 1201П

Тип:
Тестер полупроводниковых пластин

ТУ:


Краткое тех. описание:
ИК фурье-спектрометры ФСМ – семейство лабораторных спектрометров для средней и ближней ИК областей, предназначенных для: -качественного и количественного анализ твердых, жидких и газообразных образцов, -контроля качества продукции по ИК спектрам.

Цена ФСМ 1201П:
Уточняйте по телефону или через обратную связь.

Тестер полупроводниковых пластин ФСМ 1201П

Тестер полупроводниковых пластин ФСМ 1201П

ИК фурье-спектрометр ФСМ 1201П представляет собой специализированный автоматизированный измерительный комплекс на основе универсального фурье-спектрометра ФСМ 1201. Он снабжен двухкоординатным измерительным столом и позволяет в автоматическом режиме измерять параметры кремниевых пластин в заданных оператором точках для пластин диаметром до 200 мм.

ИК фурье-спектрометрия является эффективным инструментом неразрушающего контроля полупроводниковых пластин и структур, что закреплено международно признанными стандартами, определяющими методы измерения концентрации междуузельного кислорода и углерода замещения в кремнии, метод измерения толщины эпитаксиальных слоев для структур типа n-n+ и p-p+, КНС и др. Возможно определение состава слоев ФСС и БФСС, а также параметров диэлектрических слоев.

Прибор зарегистрирован в Государственном реестре средств измерений (№18895-99), регистрация подтверждена на Украине, в Белоруссии и Казахстане.

Основные контролируемые параметры

  • концентрация междуузельного кислорода (толщина пластин 0.4–2 мм) в пределах: (5x1015–2x1018)±5x1015 см-3 (SEMI MF1188);

  • концентрация углерода замещения (толщина пластин 0.4–2 мм) в пределах: (1016–5x1017)±1016 см-3 (SEMI MF1391);

  • радиальная неоднородность распределения кислорода в кремниевых пластинах (SEMI MF951);

  • толщина эпитаксиальных слоев кремниевых структур типа n-n+ и p-p+ в пределах: (0.5–10)±0.1 мкм, (10–200)±1% мкм (SEMI MF95);

  • толщина эпитаксиальных слоев кремния в структурах КНС в пределах: (0.1–10)±1% мкм;

  • концентрация фосфора в слоях ФСС и бора/фосфора в слоях БФСС в пределах: (1–10)±0.2 % вес.

Основные характеристики спектрометра

Спектральный диапазон, см-1 400–7800
Спектральное разрешение, см-1 1
Диаметр светового пятна на образце, мм 6
Максимальный размер пластин, мм 200
Точность позиционирования стола, мм 0.5
Время стандартного измерения в одной точке, с 20
Размеры спектрометра, мм 670x650x250
Вес спектрометра, кг 37
Заказать ФСМ 1201П Тестер полупроводниковых пластин

Тел.(4812)386407, 386663, 387597. Факс(4812)385745
E-mail: mail@tdgears.ru