Профилометр интерференционный компьютерный ПИК-30

Профилометр предназначен для оптического автоматизированного измерения трехмерного профиля поверхности зеркально-отражающих изделий.

Принцип действия прибора основан на интерференции световых пучков лазерного излучения, отраженного от эталонного зеркала и поверхности измеряемого изделия. В основе прибора лежит оптическая схема интерферометра Тваймана-Грина. Автоматизированная расшифровка интерферограмм производится по методу дискретного фазового сдвига, вносимого опорным зеркалом, сдвигаемым пьезоэлементом. В результате обработки интерферограмм восстанавливается оптическая разность хода, соответствующая измеряемому профилю поверхности.

Представление результатов измерений

• горизонтальное и вертикальное сечения профиля в любой выбранной точке

• псевдоцветное изображение профиля с двумя взаимно перпендикулярными сечениями в любой выбранной точке

• матрица значений высот профиля в выделенной прямоугольной области

• трехмерное изображение профиля с возможностями масштабирования и вращения

• протокол измерений, включающий в себя любой из перечисленных видов представления

Измерение профиля поверхности кремниевых пластин

Измерение радиуса кривизны сферческих зеркал

Технические характеристики

Источник света He-Ne лазер, λ = 632 нм   Приемник ПЗС камера   Поле зрения 30 мм   ПЗС-матрица 576´768 pixels   Предметный столик Ручная юстировка наклона   Исследуемые поверхности Планарные, сферические   Коэффициент отражения измеряемых изделий на длине волны 632 нм, не менее 50%   Градиенты профиля высота/длина, не более 10-3/1   СКО измерений высоты профиля поверхности, не более 10 нм   Относительная погрешность измерения радиуса кривизны сферического зеркала (R ~ 6 м) 0,7%   Время одного измерения, не более 2 сек   Программное обеспечение WinPhastTM   Язык ПО Русский, английский   Операционная система Windows XP   Потребляемая мощность 22 Вт   Габаритные размеры, мм, не более 500×250×400   Масса, кг, не более 30