Тестер полупроводниковых пластин ФСМ 1201П

ИК фурье-спектрометр ФСМ 1201П представляет собой специализированный автоматизированный измерительный комплекс на основе универсального фурье-спектрометра ФСМ 1201. Он снабжен двухкоординатным измерительным столом и позволяет в автоматическом режиме измерять параметры кремниевых пластин в заданных оператором точках для пластин диаметром до 200 мм.

ИК фурье-спектрометрия является эффективным инструментом неразрушающего контроля полупроводниковых пластин и структур, что закреплено международно признанными стандартами, определяющими методы измерения концентрации междуузельного кислорода и углерода замещения в кремнии, метод измерения толщины эпитаксиальных слоев для структур типа n-n+ и p-p+, КНС и др. Возможно определение состава слоев ФСС и БФСС, а также параметров диэлектрических слоев.

Прибор зарегистрирован в Государственном реестре средств измерений (№18895-99), регистрация подтверждена на Украине, в Белоруссии и Казахстане.

Основные контролируемые параметры

• концентрация междуузельного кислорода (толщина пластин 0.4–2 мм) в пределах: (5x1015–2x1018)±5x1015 см-3 (SEMI MF1188);

• концентрация углерода замещения (толщина пластин 0.4–2 мм) в пределах: (1016–5x1017)±1016 см-3 (SEMI MF1391);

• радиальная неоднородность распределения кислорода в кремниевых пластинах (SEMI MF951);

• толщина эпитаксиальных слоев кремниевых структур типа n-n+ и p-p+ в пределах: (0.5–10)±0.1 мкм, (10–200)±1% мкм (SEMI MF95);

• толщина эпитаксиальных слоев кремния в структурах КНС в пределах: (0.1–10)±1% мкм;

• концентрация фосфора в слоях ФСС и бора/фосфора в слоях БФСС в пределах: (1–10)±0.2 % вес.

Основные характеристики спектрометра