Насос сверхвысоковакуумный криогенный COOLVAC 3000 iCL
Вакуумные насосы COOLVAC представляют собой насосы, принцип действия которых
основан на улавливании газообразных веществ путём осаждения их на холодных
поверхностях насоса способом криоконденсации, криосорбции или криостабилизации.
Для этой цели рабочие поверхности насоса (криопанели) охлаждаются до достаточно
низких температур. Насосы COOLVAC охлаждаются с помощью двухступенчатых
охлаждающих головок серии COOLPOWER по принципу Гиффорда/МакМахона. Насосы
COOLVAC создают сверхвысокий безмасляный вакуум в диапазоне давлений от 10-3
мбар до 10-11 мбар (от 0,75·10-3 до 0,75·10-11 мм рт.ст.).
Наименование параметра насоса COOLVAC 3000 iCL
|
Значение
|
| Фланец высокого вакуума (HV), DN |
320 ISO-K / 10" ANSI |
| *Форвакуумный фланец, DN |
25 ISO-KF |
| **Фланец для присоединения измерительной головки, DN |
16 ISO-KF |
| Фланец для присоединения электрооборудования, DN |
16 CF |
| Предохранительный клапан с фланцевым соединением для газовой
выхлопной линии, DN |
16 CF |
| 4-контактный токоввод для диода Si на фланце, DN |
16 ISO-KF |
Нагреватели:
- 1-я ступень, Вт
- 1-я ступень, В, перем.тока |
160
42 |
Нагреватели:
- 2-я ступень, Вт
- 2-я ступень, В, перем.тока |
90
42 |
Датчик температуры:
- 1-я ступень
- 2-я ступень |
PT 100
Si-Diode |
| Встроенная криогенная головка COOLPOWER |
7/25 |
| Масса, кг |
35 |
| Время охлаждения до Т2 = 20 К, мин |
120 |
| Коэффициент пересчёта, мбар×л |
500 |
Быстрота действия:
- H2O – Вода, л/с
- Ar / N2 – Аргон / Азот, л/с
- H2 / He – Водород / Гелий, л/с |
10500
2500/3000
6000 |
Ёмкость:
- Ar / N2 – Аргон / Азот, бар х л
- H2 – Водород, при 10-6 мбар, бар х л |
2500/2500
28*** |
Максимальная производительность:
- Ar / N2 – Аргон / Азот, мбар×л/с
- H2 – Водород, мбар×л/с |
15/15
10*** |
| Патрубки для подачи гелия (Самоуплотняющиеся соединения: наружная
резьба, тип 5400-S2-8), DN |
1/2" |
Примечание:
*В комплект входит электропневматический угловой клапан.
**Головка вакуумметра входит в комплект.
***Максимальные значения пропускной способности, приведенные для
водорода (H2), справедливы только для регенерированных крионасосов при
краткосрочных кредитах. Для непрерывных операций значения как пропускной
способности, так и пропускной способности будут ниже. |
|
